Fourniture et installation d’une paillasse chimie 200 et 300mm

Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement, une paillasse de chimie manuelle pour la gravure et le nettoyage de différents matériaux sur des plaques de silicium de diamètres 200 mm et 300 mm pour la microélectronique. Cette paillasse devra remplacer une paillasse déjà existante dans la salle blanche du LETI Les options suivantes* sont susceptibles d’être affermies dès la notification du marché : • Options* avec chiffrage obligatoire : o Option n°1 : Formation maintenance niveau 1 pour deux personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges ; • Options* avec chiffrage facultatif : o Option n°2 : Formation maintenance avancée pour deux personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges ; o Option n°3 : Fourniture et installation d’une vanne d’arbitrage située sous la paillasse conformément à l’article 3.1 du cahier des charges; o Option n°4 : Le transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020) ;