Elektronenstrahlverdampfer

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt, für Forschungszwecke einen (1) vielseitigen und benutzerfreundlichen Elektronenstrahlverdampfer anzuschaffen, welcher die Herstellung von Dünnschichten mit höchster Flexibilität hinsichtlich der verwendbaren Materialien, Materialqualität und Präzision ermöglicht. Das System soll in erster Linie zur Herstellung photonischer und plasmonischer Nanostrukturen wie z.B. Metamaterialien und -oberflächen, Nanoantennen und photonischer Kristalle eingesetzt werden. Dies soll einerseits durch Elektronenstrahlverdampfung in Kombination mit Elektronenstrahl-lithographie und einem Lift-Off Prozess und andererseits durch die Herstellung von funktionellen Substraten und Mehrschichtsystemen für optische Nano- und Mikrostrukturen mittels Elektronenstrahlverdampfung erfolgen. Weiteres siehe Anlage 2.